- 有源耦合制程能力
- 6轴耦合设备
- X/Y/Z方向重复定位精度︰+/-0.02um
- θX/θY/θZ角度重复定位精度︰0.001o
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- Lens耦合製程能力
- 全自動四通道Lens耦合
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- 透鏡組X,Y,Z耦合軸,30mm-50mm行程,最大精度可細分到0.05um
- 透鏡組TX,TY,Txy 精度可細分到0.01°
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- Laser Welding耦合製程能力
- YAG 焊接鏡頭,CCD同軸光學系統
- YAG 焊接鏡頭移動軸,最大精度可細分到0.1um
- .X,Y,Z自動耦合軸,15mm行程,最大精度可細分到0.1um
- T 旋轉軸,最大精度可細分到0.05度360度旋轉
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