晶圆处理制程
  • 晶圆研磨制程能力
    • 产品类型:8吋,12吋晶圆
    • 最终厚度:最薄可到50um
    • 最终厚度误差:±10um
wafer
  • 晶圆切割制程能力
    • 根据客户晶圆大小有配套真空吸盘切割
    • 超纯水添加二氧化碳和切割添加剂,避免ESD和沾污问题
    • 基于客户不同切割材质(如硅,互补金属氧化物导体,钽酸锂,玻璃)的特性,配套刀片和最优化的切割方案可供选择
  • 晶片装卷帶能力
    • 六面检测(bump缺失﹐破裂﹐碎片﹐沾污…等)
    • 每小时产能﹕12~14k
    • 最小晶片尺寸﹕0.3*0.3毫米
    • 晶元类型﹕ Si, SiGe, GaAs
wafer
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