热压封装
  • 热压封装制程能力
    • 支持制程:TCNCP /TCCUF / TCNCF
    • 晶片大小︰2 to 20mm
    • 晶片厚度︰50 to 1100um
    • 邦定头加热范围:26~400℃
    • 邦定头升温速率:350℃/s
    • 邦定头降温速率:140℃/s
    • 邦定头压力范围:3 ~ 300N
    • 邦定头压力精度:±2N or ±2%
    • 耦合精度:XY : +/-2um 3sigma, Theta: +/-0.025°
ThermoCompression
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